GB/T 30858-2014
サファイア単結晶基板研磨シート (英語版)
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GB/T 30858-2014
規格番号
GB/T 30858-2014
言語
中国語版,
英語で利用可能
制定年
2014
出版団体
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
最新版
GB/T 30858-2014
範囲
この規格は、研磨されたサファイア単結晶基板の要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管、品質証明書、注文書(または契約書)の内容を規定しています。 この規格は、片面研磨サファイア基板(以下、サファイア基板という)に適用される。
GB/T 30858-2014 規範的参照
GB/T 1031
製品の幾何学的仕様 (GPS)、表面構造、プロファイル法、表面粗さパラメータとその値。
GB/T 13387
シリコン等の電子材料ウエハの基準面長の測定方法
GB/T 14140
シリコンウェーハの直径測定方法
GB/T 14264
半導体材料用語
GB/T 1555
半導体単結晶の結晶方位判定方法
*
,
2023-08-06 更新するには
GB/T 19921
シリコン研磨ウェーハの表面パーティクルの試験方法
*
,
2018-12-28 更新するには
GB/T 2828.1
目録抜き取り検査手順その1:合格品質限界(AQL)から探すロットごとの抜き取り検査計画
GB/T 30857
サファイア基板の厚みと厚みばらつきの試験方法
GB/T 6619
シリコンウェーハの曲げ試験方法
GB/T 6620
シリコンウェーハの反りの非接触検査方法
GB/T 6624
シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法
GB/T 30858-2014 発売履歴
2014
GB/T 30858-2014
サファイア単結晶基板研磨シート
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