GB/T 13387-2009
シリコン等の電子材料ウエハの基準面長の測定方法 (英語版)

規格番号

GB/T 13387-2009

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2009

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 13387-2009

交換する

GB/T 13387-1992

範囲

この規格は、ウェーハのエッジの平らな部分の長さの決定を対象としています。 この規格は、円形ウェーハのエッジの直線部分の公称長さが 65mm 以下の電気材料に適用されます。 この規格はシリコンウェーハの精度のみを確認するものであり、材質によって期待精度が変わることはありません。 この規格は審判の測定に適用され、定規や目視検査で得られるよりも高い精度が指定された限界値に必要な場合の日常的な合格測定にも使用できます。 この規格は、規格の使用に関連する場合でも、安全性の問題は扱っていません。 適切な安全性とセキュリティ対策を確立し、規制の適用範囲を決定するのは標準ユーザーの責任です。

GB/T 13387-2009 規範的参照

• GB/T 14264-2009 半導体材料用語
• GB/T 2828.1-2003 列挙抜き取り検査手順パート 1; 合格品質制限 (AQL) によって取得されるロットごとの抜き取り検査計画

GB/T 13387-2009 発売履歴

• 2009 GB/T 13387-2009 シリコン等の電子材料ウエハの基準面長の測定方法
• 1992 GB/T 13387-1992 電子材料ウエハの基準面長の測定方法