GB/T 30857-2014
サファイア基板の厚みと厚みばらつきの試験方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 30857-2014
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 30857-2014
- 範囲
- この規格は、窒化ガリウム薄膜エピタキシャルウェーハの作製やその他の用途に使用されるサファイア単結晶の切断、研削、研磨ウェーハ（基板ウェーハといいます）の厚さおよび厚さのばらつきが規格限界要件を満たしているかどうかの試験方法を規定しています。 この規格は、サファイア基板の厚さと厚さのばらつきの試験に適用されます。
GB/T 30857-2014 規範的参照
- GB/T 14264 半導体材料用語
GB/T 30857-2014 発売履歴
- 2014 GB/T 30857-2014 サファイア基板の厚みと厚みばらつきの試験方法
