GB/T 6624-2009
シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 6624-2009
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 6624-2009
- 交換する
- GB/T 6624-1995
- 範囲
- この規格は、特定の照明条件下で研磨された単結晶ウェーハの表面品質を視覚的に検査する方法を規定しています。 この規格はシリコン研磨ウェーハの表面品質検査に適用されます。 エピタキシャルウェーハの表面品質を目視検査する場合もこの方法を指します。
GB/T 6624-2009 規範的参照
- GB/T 14264 半導体材料用語
GB/T 6624-2009 発売履歴
- 2009 GB/T 6624-2009 シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法
- 1995 GB/T 6624-1995 シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法
