ISO 14644-15:2017 クリーンルームおよび関連する管理された環境パート 15: 空気中の化学物質濃度を使用した機器および材料の適合性の評価規格と仕様

範囲: この文書は、化学物質濃度別の清浄度クラスに関する ISO 規格 (ISO 14644-8 を参照) に関連付けられた、クリーンルームおよび関連する管理された環境での使用が想定される機器および材料の化学物質の空中浮遊清浄度を評価するための要件とガイドラインを提供します。以下は、この文書の範囲外です。 - 健康と安全の要件。 — 洗浄剤および洗浄技術との適合性。 - 洗浄性。 — 生物汚染; 　——プロセスと製品のための機器と材料の特定の要件。 — 機器の詳細設計。

ISO 14644-15:2017 規範的参照

ISO 14644-10:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類
ISO 14644-14:2016 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 14: 浮遊粒子濃度による機器の使用適合性の評価
ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
ISO 14644-8:2013 クリーンルームおよび関連する管理された環境パート 8: 浮遊分子汚染物質 (ACC) の分類
ISO 16000-6:2011 室内空気パート 6: Tenax TA 吸収剤、加熱脱着、MS または MS/FID ガスクロマトグラフィーによるアクティブサンプリングによる室内空気および実験室空気中の揮発性有機化合物の測定
ISO 16000-9:2006 室内空気パート 9: 建築製品および家具から放出される揮発性有機化合物の測定放出試験室の方法
ISO 2889:2010 原子力施設の煙道や換気ダクト内の放射性物質のサンプリング
ISO 8573-8:2004 圧縮空気第 8 部：質量濃縮法による固体粒子含有量の測定試験方法
JIS B 9926:1991 クリーンルーム機械装置の移動により発生する粉塵の試験方法
VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性

2017 ISO 14644-15:2017 クリーンルームおよび関連する管理された環境パート 15: 空気中の化学物質濃度を使用した機器および材料の適合性の評価