ISO 14644-10:2013
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類
- 規格番号
- ISO 14644-10:2013
- 制定年
- 2013
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 状態
- に置き換えられる
- ISO 14644-10:2022
- 最新版
- ISO 14644-10:2022
- 範囲
- ISO 14644 のこの部分では、化合物または元素 (分子、イオン、原子、粒子など) の存在に関して、クリーンルーム内の表面の清浄度の分類システムを定義します。 ISO 14644 のこの部分は、クリーンルーム内のすべての固体表面と、壁、天井、床、作業環境、ツール、機器、装置などの関連する管理された環境に適用されます。 注 1 ISO 14644 のこの部分では、粒子の化学的特性のみが考慮されます。 粒子の物理的特性は考慮されておらず、ISO 14644 のこの部分では汚染と表面の間の相互作用はカバーされていません。 注 2 ISO 14644 のこの部分には、汚染生成プロセスと時間依存の影響 (堆積、沈殿、老化など)、または輸送や取り扱いなどのプロセス依存の活動は含まれていません。 また、コンプライアンスを確保するための統計的品質管理手法に関するガイダンスも含まれていません。
ISO 14644-10:2013 規範的参照
- ISO 14644-1
- ISO 14644-6 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙
ISO 14644-10:2013 発売履歴
- 2022 ISO 14644-10:2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 10: 化学的に汚染された表面の清浄度の評価
- 2013 ISO 14644-10:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類
