ISO 14644-14:2016
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 浮遊粒子濃度による機器の使用適合性の評価

規格番号

ISO 14644-14:2016

制定年

2016

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14644-14:2016

ISO 14644-14:2016 規範的参照

• ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
• ISO 14644-3:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 3: 試験方法
• ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、分離器、および微小環境)
• ISO 14644-9:2012 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子状物質濃度を使用した表面清浄度の分類
• ISO 8573-8:2004 圧縮空気 第 8 部：質量濃縮法による固体粒子含有量の測定試験方法
• JIS B 9926:1991 クリーンルーム 機械装置の移動により発生する粉塵の試験方法
• SEMI F70-0611 
• VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性

ISO 14644-14:2016 発売履歴

• 2016 ISO 14644-14:2016 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 浮遊粒子濃度による機器の使用適合性の評価