VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性規格と仕様

範囲: この VDI ガイドラインは基本的に粒子汚染を扱います。化学的（分子的）、生物学的および放射線学的表面汚染は、このガイドラインでは特別な問題ではありません。プロセスメディアにも同じことが当てはまります。このガイドラインは、必要な清浄度との適合性およびクリーンルームへの適合性という用語の定義を提供し、これらの定義に基づいて、空気清浄度およびその他のパラメータが評価される環境で使用する機器および空気処理コンポーネントの適合性を確立するために役立つ分類と手順を提供します。技術的ルールに従ってください (図 3 を参照)。さらに、制御された環境に関連する機器および空気処理コンポーネントのガス放出特性と静電気特性についても説明します。表面の清浄度とその分類もこのガイドラインの範囲内です。必要な清浄度に対する機器の適合性には、プロセスに関連するすべての汚染が含まれます。このガイドラインに記載されている測定技術は、クリーンルームへの適合性、表面微粒子の清浄度、ガス放出挙動など、必要な清浄度に対する機器の適合性を評価するのに役立ちます。

VDI 2083 Blatt 9.1-2006 規範的参照

DIN 50452-1:1995 半導体プロセスで使用される材料の検査液体中の粒子分析の試験方法第 1 部: 粒子の顕微鏡測定
DIN 53804-2:1985 データの統計分析可算（離散）特性
DIN 55301:1978 統計表の説明
DIN EN 1081:1998 弾力性のある床材の抵抗値の測定
DIN EN 1335-1 Berichtigung 1:2002 DIN EN 1335-1:2002 技術正誤表 (EN 1335-1:2000/AC:2002)
DIN EN 1335-1:2002 オフィス家具、オフィスチェアパート 1: 寸法寸法の決定。
DIN EN 1335-2:2002 オフィス家具 – オフィスチェア – パート 2: 安全要件
DIN EN 1335-3:2002 オフィス家具 - オフィスチェア - パート 3: 安全性試験方法
DIN EN 13779:2005 非住宅用建物の換気および空調システムの一般原則と要件
DIN EN ISO 4287:1998 幾何製品仕様 (GPS) – 表面テクスチャ: 等高線法 – 用語、定義、および表面テクスチャパラメータ
DIN EN ISO 8785 幾何製品仕様 (GPS) の表面欠陥の用語、定義、パラメータ

1970 VDI 2083 Blatt 9-1-2021
2006 VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性
2005 VDI 2083 Blatt 9.1-2005 クリーンルーム技術 - 要求される清浄度と表面清浄度の両立
2002 VDI 2083 Blatt 8-2002 Reinraumtechnik - Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln
1996 VDI 2083 Blatt 4-1996 クリーンルーム技術 - 表面の清浄度

VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性は VDI 2083 Blatt 4-1996 クリーンルーム技術 - 表面の清浄度から変更されます。

VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性は VDI 2083 Blatt 8-2002 Reinraumtechnik - Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln から変更されます。