ISO 14644-8:2013
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質 (ACC) の分類
- 規格番号
- ISO 14644-8:2013
- 制定年
- 2013
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 状態
- に置き換えられる
- ISO 14644-8:2022
- 最新版
- ISO 14644-8:2022
- 範囲
- ISO 14644 のこの部分では、特定の化学物質 (個人、グループ、カテゴリー) の空気中濃度の観点から、クリーンルームおよび関連する管理環境における空気化学的清浄度 (ACC) の分類を確立し、試験方法、分析、時間を含むプロトコルを提供します。 - 分類仕様内の重み付け係数。 ISO 14644 のこの部分では現在、クリーンルームの動作条件下で 100 ～ 10-12 g/m3 の空気化学汚染物質の濃度のみが考慮されています。 ISO 14644 のこの部分は、浮遊化学物質の存在が製品やプロセスに対するリスクとみなされない産業、プロセス、または生産での適用には関係ありません。 ISO 14644 のこの部分は、大気化学汚染物質の性質を説明することを目的としていません。 ISO 14644 のこの部分では、表面の化学汚染の分類は規定されていません。
ISO 14644-8:2013 規範的参照
- ISO 14644-6 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙
ISO 14644-8:2013 発売履歴
- 2022 ISO 14644-8:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 8: 化学物質濃度を使用した空気清浄度の評価 (ACC)
- 2013 ISO 14644-8:2013 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質 (ACC) の分類
- 2006 ISO 14644-8:2006 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質の分類
