GB/T 25915.13-2022
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 13: 粒子および化学物質の清浄度要件を達成するための表面洗浄 (英語版)

規格番号

GB/T 25915.13-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 25915.13-2022

範囲

この文書は、必要な清浄度を達成するためのクリーンルームの表面、機器の表面、および材料の表面の洗浄に関するガイダンスを提供します。 このドキュメントの表面とは、すべての表面 (外部、内部) を指します。 この文書では、表面の清浄度を達成するために粒子濃度 (SCP) および表面の化学的清浄度 (SCC) の清浄度を評価するために必要な洗浄方法と、指定された清浄度を達成するために考慮すべき洗浄技術について説明します。 ISO14644.9およびISO14644.10は、洗浄技術および関連する試験方法の適合率を示します。 この文書には、次の一般的なガイダンスが含まれています。 — 表面ターゲットの清浄度クラス。 — 洗浄方法の適合性。 - 洗浄技術と表面の適合性。 — 洗浄方法の適合性の評価。 この文書では、次の事項については説明しません。 --- 洗浄方法の分類。 --- クリーンルームで生産された製品。 --- 特定の表面に関連する特定の洗浄方法。 --- 洗浄メカニズム、具体的な方法とさまざまな洗浄方法の方法 - 手順の詳細な説明。 - 材料特性の詳細な説明。 - 洗浄プロセスと洗浄時間による表面損傷のメカニズム。 - 表面への汚染物質の付着、および付着プロセスは通常、時間とプロセスに関連します。 ——静電気、イオンなどの粒子のその他の特性。 ——分子状汚染物質と表面との間の化学反応。 ——表面微生物。 - 放射能汚染; 　——健康と安全; 　——環境要因: 廃棄物処理、排出など。 --- 統計手法の選択。

GB/T 25915.13-2022 規範的参照

• ISO 14644-8 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 8: 化学物質濃度を使用した空気清浄度の評価 (ACC)
• ISO 14644-9 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度に基づく表面清浄度の評価

GB/T 25915.13-2022 発売履歴

• 2022 GB/T 25915.13-2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 13: 粒子および化学物質の清浄度要件を達成するための表面洗浄

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