ISO 14644-9:2022
クリーンルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度に基づく表面清浄度の評価

規格番号

ISO 14644-9:2022

制定年

2022

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14644-9:2022

範囲

この文書は、クリーンルームおよび関連する制御環境アプリケーションにおける固体表面上の粒子の清浄度レベルを評価するための手順を確立します。 試験および測定方法に関する推奨事項、および表面特性に関する情報は付録 A ～ D に記載されています。 この文書は、クリーンルーム内のすべての固体表面と、壁、天井、床、作業環境、工具などの関連する管理環境に適用されます。 設備や製品。 粒子濃度 (SCP) による表面清浄度の評価手順は、0.05 μm ～ 500 μm の粒子に限定されます。 この文書では、次の問題は考慮されていません。 - 特定のプロセスに対する表面の清浄度と適合性の要件。 — 表面の洗浄手順。 — 材料の特性; 　——通常は時間やプロセスに依存する相互作用的な結合力または生成プロセスへの言及。 - 評価とテストのための統計的手法の選択と使用。 — 静電荷、イオン電荷、微生物状態などの粒子のその他の特性。

ISO 14644-9:2022 発売履歴

• 2022 ISO 14644-9:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度に基づく表面清浄度の評価
• 2012 ISO 14644-9:2012 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子状物質濃度を使用した表面清浄度の分類