GB/T 25915.10-2021
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類 (英語版)

規格番号

GB/T 25915.10-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 25915.10-2021

範囲

この文書は、クリーン ルーム内の化合物または化学物質 (分子、イオン、原子、粒子を含む) の存在に対する表面清浄度グレーディング システムを定義します。 この文書は、クリーンルーム内のすべての表面と、壁、天井、床、作業環境、工具、機器、装置などの関連する管理された環境に適用されます。 注 1: この文書では、微粒子の物理的特性ではなく、微粒子の化学的特性のみを考慮しています。 この文書では、汚染物質と表面の間の相互作用については説明しません。 注 2: この文書には、汚染の生成プロセスや、時間に関連する影響要因 (沈降、堆積、経年変化など) は含まれていません。 統計的品質管理手法のガイド。

GB/T 25915.10-2021 規範的参照

• GB/T 25915.6 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 6: 語彙

GB/T 25915.10-2021 発売履歴

• 2021 GB/T 25915.10-2021 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類

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