GB/T 25915.14-2022
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 粒子濃度による機器の適合性の評価 (英語版)

規格番号

GB/T 25915.14-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 25915.14-2022

範囲

この文書は、クリーンルームおよび関連する管理された環境で使用する機械、試験装置、プロセス装置、コンポーネントおよびツールなどの機器の適合性を評価するために適用されます。 GB/T25915.1 によれば、対象となる懸濁粒子の粒径範囲は 0.1 μm ～ 5 μm 以上です。 この文書は以下には適用されません。 --- 微生物汚染に基づく適合性の評価。 --- 洗浄剤と洗浄技術の適合性のテスト。 --- 機器および材料の洗浄性。 --- 機器の設計と材料の選択 --- 材料の静的、熱的、その他の物理的特性。 --- 特定のプロセス状況における装置のパフォーマンスの最適化。 --- 検定統計手法の選択; 　——地域の安全規制の条項と要件。

GB/T 25915.14-2022 規範的参照

• GB/T 25915.1-2021 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子濃度による空気清浄度の分類

GB/T 25915.14-2022 発売履歴

• 2022 GB/T 25915.14-2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 粒子濃度による機器の適合性の評価

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