ISO 14644-8:2022
クリーンルームおよび関連する管理環境パート 8: 化学物質濃度を使用した空気清浄度の評価 (ACC)

規格番号

ISO 14644-8:2022

制定年

2022

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14644-8:2022

範囲

この文書は、特定の化学物質（個人、グループ、またはカテゴリ）の空気中濃度の観点から、クリーンルームおよび関連する制御環境における空気化学的清浄度（ACC）の等級レベルを決定するための典型的な評価プロセスを確立し、試験方法を含むプロトコルを提供します。 分析とそれらを決定するための時間加重要素。 この文書は現在、クリーンルームの動作条件下で 100 g/m3 ～ 10-12 g/m3 の空気化学汚染物質の濃度のみを考慮しています。 この文書は、浮遊化学物質の存在が製品またはプロセスに対するリスクとみなされない産業、プロセス、または生産での適用には関係ありません。 この文書の目的は、大気化学汚染物質の性質を説明することではありません。 この文書には、表面の化学汚染の分類は記載されていません。

ISO 14644-8:2022 発売履歴

• 2022 ISO 14644-8:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 8: 化学物質濃度を使用した空気清浄度の評価 (ACC)
• 2013 ISO 14644-8:2013 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質 (ACC) の分類
• 2006 ISO 14644-8:2006 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質の分類