ISO 14644-6:2007
クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙

規格番号

ISO 14644-6:2007

制定年

2007

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14644-6:2007

範囲

ISO 14644 のこの部分は、クリーンルームおよび関連する制御環境に関連する用語と定義の語彙を確立します。 ISO 14644 のこの部分は、ISO 14644 の他の部分で与えられる用語と定義の要約です。 これには、与えられる用語と定義も含まれます。 ISO 14698-1 および ISO 14698-2 に記載されています。

ISO 14644-6:2007 発売履歴

• 2007 ISO 14644-6:2007 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙