ISO 14644-8:2006
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質の分類

規格番号

ISO 14644-8:2006

制定年

2006

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

状態

撤回

に置き換えられる

ISO 14644-8:2013

最新版

ISO 14644-8:2022

範囲

ISO 14644 のこの部分では、特定の化学物質 (個人、グループ、またはカテゴリー) の空気中濃度の観点から、クリーンルームおよび関連する管理環境における空気中の分子汚染 (AMC) の分類をカバーし、試験方法、分析、時間を含むプロトコルを提供します。 分類の仕様内の重み付け係数。 ISO 14644 のこの部分では現在、クリーンルーム操作条件下で 10° ～ 10-12 g/m3 の AMC 濃度のみが考慮されています。 ISO 14644 のこの部分は、浮遊分子物質の存在が製品やプロセスに対するリスクとはみなされない産業、プロセス、または生産での適用には関係ありません。 ISO 14644 のこの部分の目的は、空気中の分子状汚染物質の性質を説明することではありません。 ISO 14644 のこの部分では、表面分子汚染の分類は提供されていません。

ISO 14644-8:2006 発売履歴

• 2022 ISO 14644-8:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 8: 化学物質濃度を使用した空気清浄度の評価 (ACC)
• 2013 ISO 14644-8:2013 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質 (ACC) の分類
• 2006 ISO 14644-8:2006 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 8: 浮遊分子汚染物質の分類