ASTM E2090-12
光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法
- 規格番号
- ASTM E2090-12
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM E2090-12(2020)
- 最新版
- ASTM E2090-12(2020)
- 範囲
- この試験方法では、適度な機械的ストレスを加えた洗浄液に浸漬したワイパーから放出される粒子と繊維を正確かつ再現可能に数えることができます。 この計数試験方法が正しく実行されると、非常に低レベルの粒子および繊維の合計負荷を定量化できるほどの感度が得られます。 結果は正確であり、アーチファクトや粒子サイズの制限の影響を受けません。 この技術のさらなる利点は、個々の粒子の形態学的分析および X 線分析が可能であることです。 1.1 この試験方法は、クリーンルームおよびその他の制御された環境で使用されるすべてのワイパーの粒子の清浄度に関連する特性の試験を対象としています。 1.2 この試験方法には、コンピューターベースの画像解析と、粒子が密に含まれたフィルターを計数するための計数ハードウェアおよびソフトウェアの使用が含まれます（7.7～7.9 を参照）。 この装置の使用は絶対に必要というわけではありませんが、計数の精度、速度、一貫性を高めるために使用することを強くお勧めします。 1.3 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM E2090-12 規範的参照
- ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)
- ASTM F25 電子機器および同様の用途向けに設計されたクリーン ルームおよびその他の粉塵管理エリアにおける浮遊微粒子汚染を判定および計数するための標準試験方法
- ASTM F312 メンブレンフィルター上の航空液体中の粒子の微視的サイズの測定と計数
- ISO 14644-1
- ISO 14644-2 クリーンルームと関連する管理環境 パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
ASTM E2090-12 発売履歴
- 2020 ASTM E2090-12(2020) 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
- 2012 ASTM E2090-12 光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法
- 2006 ASTM E2090-06 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
- 2000 ASTM E2090-00 光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法
