ISO 14644-2:2015
クリーンルームと関連する管理環境 パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用

規格番号

ISO 14644-2:2015

制定年

2015

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14644-2:2015

ISO 14644-2:2015 規範的参照

• ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
• ISO 14644-3:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 3: 試験方法
• ISO 14644-4:2001 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 4: 設計、建設、試運転
• ISO 21501-4:2007 粒度分布の測定 単一粒子光干渉法 パート 4: 無菌空間光散乱粉塵粒子カウンター
• ISO 31000:2009 リスク管理の原則と指針

ISO 14644-2:2015 発売履歴

• 2015 ISO 14644-2:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
• 2000 ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様