ASTM E2090-00
光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法

規格番号

ASTM E2090-00

制定年

2000

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E2090-06

最新版

ASTM E2090-12(2020)

範囲

1.1 この試験方法は、クリーン ルームおよびその他の制御された環境で使用されるすべてのワイパーの微粒子の清浄度に関連する特性の試験を対象としています。 1.2 この試験方法には、コンピューター ベースの画像分析と、粒子が密に含まれたフィルターの計数のための計数ハードウェアおよびソフトウェアの使用が含まれます。 （見る ）。 この装置の使用は絶対に必要というわけではありませんが、計数の精度、速度、一貫性を高めるために強く推奨されます。 1.3 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この標準はすべてに対処することを目的とするものではありません。 その使用に関連する安全上の懸念がある場合には、その懸念についても説明します。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E2090-00 発売履歴

• 2020 ASTM E2090-12(2020) 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
• 2012 ASTM E2090-12 光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法
• 2006 ASTM E2090-06 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
• 2000 ASTM E2090-00 光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法