ASTM E2090-12(2020) 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法規格と仕様

範囲: 1.1 この試験方法は、クリーンルームおよびその他の管理された環境で使用されるすべてのワイパーの微粒子の清浄度に関する特性の試験を対象としています。 1.2 この試験方法には、コンピューターベースの画像解析と、粒子が密に含まれたフィルターを計数するための計数ハードウェアおよびソフトウェアの使用が含まれます（7.7 ～ 7.9 を参照）。この装置の使用は絶対に必要というわけではありませんが、計数の精度、速度、一貫性を高めるために使用することを強くお勧めします。 1.3 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全、健康、および環境慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。 1.5 この国際規格は、世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された国際規格、ガイドおよび推奨事項の開発のための原則に関する決定で確立された、国際的に認められた標準化原則に従って開発されました。

ASTM E2090-12(2020) 規範的参照

ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)
ASTM F25 電子機器および同様の用途向けに設計されたクリーンルームおよびその他の粉塵管理エリアにおける浮遊微粒子汚染を判定および計数するための標準試験方法
ASTM F312 メンブレンフィルター上の航空液体中の粒子の微視的サイズの測定と計数
ISO 14644-1
ISO 14644-2 クリーンルームと関連する管理環境パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用

2020 ASTM E2090-12(2020) 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
2012 ASTM E2090-12 光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法
2006 ASTM E2090-06 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
2000 ASTM E2090-00 光電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用して、クリーンルームのスクラバーツールから放出される粒子および繊維のサイズの違いを計数するための標準的な試験方法