ASTM F1239-94
格子間酸素還元を測定することによりシリコンウェーハ上の酸素析出を特性評価するための標準試験方法
- 規格番号
- ASTM F1239-94
- 制定年
- 1994
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F1239-02
- 最新版
- ASTM F1239-02
- 範囲
- 1.1 これらの試験方法は、シリコンウェーハの酸素析出特性を試験するための補完的な手順をカバーしています。 降水特性は、特定の熱サイクル中に失われる格子間酸素の量に関連していると考えられます。 1.2 これらの試験方法は、2 つ以上のグループのウェーハの析出特性を定性的に比較するために使用できます。 1.3 これらの試験方法は、厚さ、抵抗率、および表面仕上げが赤外吸収によって酸素濃度を決定できる程度のものであり、酸素濃度が赤外吸収によって生成されるようなものである、任意のタイプ、任意の方向のチョクラルスキー シリコン ウェーハに適用できます。 測定可能な酸素損失。 1.4 これらの試験方法は、「露出ゾーン」、つまり酸化物析出物が本質的に存在しないウェーハ表面近くの領域の幅や特性を測定するのには適していません。 1.5 これらの試験方法は破壊的であるため、適切なサンプリング技術を採用する必要があります。 1.6 SI 単位で記載されている値は標準的な値と見なされます。 1.7 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な危険性に関する記述はセクション 8 に記載されています。
ASTM F1239-94 規範的参照
- ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)*， 1999-04-09 更新するには
- ASTM F1188
- ASTM F416
- ASTM F612
- ASTM F951 シリコンウェーハのラジアルギャップ酸素変化を測定するための標準的な試験方法*， 2002-01-10 更新するには
ASTM F1239-94 発売履歴
- 1970 ASTM F1239-02
- 1994 ASTM F1239-94 格子間酸素還元を測定することによりシリコンウェーハ上の酸素析出を特性評価するための標準試験方法
