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- ASTM F1239-02
- 規格番号
- ASTM F1239-02
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F1239-02
- 範囲
- 1.1 これらの試験方法は、シリコンウェーハの酸素析出特性を試験するための補完的な手順をカバーしています。
降水特性は、特定の熱サイクル中に失われる格子間酸素の量に関連していると考えられます。
1.2 これらの試験方法は、2 つ以上のグループのウェーハの析出特性を定性的に比較するために使用できます。
1.3 これらの試験方法は、厚さ、抵抗率、および表面仕上げが赤外吸収によって酸素濃度を決定できるようなものであり、酸素濃度が赤外吸収によって生成されるようなものである、任意の p 型、任意の向きのチョクラルスキー シリコン ウェーハに適用できます。
測定可能な酸素損失。
1.4 これらの試験方法は、「露出ゾーン」、つまり酸化物析出物が本質的に存在しないウェーハ表面近くの領域の幅や特性を測定するのには適していません。
1.5 これらの試験方法は破壊的であるため、適切なサンプリング技術を採用する必要があります。
1.6 SI 単位で記載されている値は標準的な値と見なされます。
1.7 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
具体的な危険性に関する記述はセクション 8 に記載されています。
ASTM F1239-02 規範的参照
- ASTM C28 漆喰標準仕様*， 1980-04-10 更新するには
- ASTM D5127 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド*， 1999-04-10 更新するには
- ASTM F1188
- ASTM F1619 赤外吸収分光法およびブリュースター角偏光入射により格子間酸素含有量を測定するための標準的な試験方法*， 1995-04-10 更新するには
- ASTM F951 シリコンウェーハのラジアルギャップ酸素変化を測定するための標準的な試験方法*， 2002-01-10 更新するには
ASTM F1239-02 発売履歴
