ASTM F612-88

規格番号

ASTM F612-88

制定年

1970

出版団体

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最新版

ASTM F612-88

範囲

1.1 この実践では、シリコン スライスの洗浄技術をカバーしています。 この技術により、肉眼で明るい照明の下で見たとき、目に見える粒子状物質が存在しないスライス表面が生成されます。 1 . 2 この規格には、危険な物質、作業、設備が含まれる場合があります。 . この規格は、その使用に関連するすべての安全上の問題に対処することを目的とするものではありません。 適切な安全および健康慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用性を判断するのは、この規格の使用者の責任です。 具体的な危険性の記述は次のとおりです。 セクション 8 および 10 に記載されています。

ASTM F612-88 規範的参照

• ASTM D1125 水の導電率と抵抗率の標準試験方法*， 1995-04-09 更新するには
• ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)*， 1999-04-09 更新するには
• ASTM F22 粒子透過にラテックスボールを使用する医療用フェイスマスク材料の初期効率を決定するための標準試験方法*， 1965-04-09 更新するには
• ASTM F523 研磨されたシリコンウェーハ表面の肉眼検査の標準的な方法*， 1993-04-09 更新するには

ASTM F612-88 発売履歴

• 1970 ASTM F612-88