ISO 14644-9:2012
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子状物質濃度を使用した表面清浄度の分類

規格番号

ISO 14644-9:2012

制定年

2012

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ISO 14644-9:2022

最新版

ISO 14644-9:2022

ISO 14644-9:2012 発売履歴

• 2022 ISO 14644-9:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度に基づく表面清浄度の評価
• 2012 ISO 14644-9:2012 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子状物質濃度を使用した表面清浄度の分類