EN ISO 14644-14:2016
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 粉塵粒子濃度に基づく使用に対する機器の適合性の評価 (ISO 14644-14:2016)

規格番号

EN ISO 14644-14:2016

制定年

2016

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

最新版

EN ISO 14644-14:2016

交換する

FprEN ISO 14644-14:2016

範囲

ISO 14644 のこの部分では、ISO 14644 -1 に規定されている浮遊粒子清浄度の観点から、クリーンルームおよび関連する管理エリアで使用する機器 (機械、測定器、プロセス機器、コンポーネント、ツールなど) のクリーンルーム適合性を評価するための方法論を規定しています。 修理済み。 粒子サイズの範囲は 0.1 μm から 5 μm 以上です (ISO 14644-1 で規定)。 注 管轄当局が追加のガイドラインまたは制限を提供する場合、評価方法の適切な調整が必要になる場合があります。 ISO 14644 のこの部分では、次の側面はカバーされていません。 生物汚染に対する適合性の評価。 除染剤と除染技術の適合性をテストする。 機器および材料の洗浄性。 デバイスの構造設計と材料の選択に関する要件。 物理的な材料特性（静電気特性、熱特性など）。 特定のプロセス用途に合わせて装置のパフォーマンスを最適化します。 テストのための統計的手法の選択と適用。 地域のセキュリティ プロトコルと要件。

EN ISO 14644-14:2016 規範的参照

• ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
• ISO 14644-3:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 3: 試験方法
• ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、分離器、および微小環境)
• ISO 14644-9:2012 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子状物質濃度を使用した表面清浄度の分類
• ISO 8573-8:2004 圧縮空気 第 8 部：質量濃縮法による固体粒子含有量の測定試験方法
• JIS B 9926:1991 クリーンルーム 機械装置の移動により発生する粉塵の試験方法
• VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性

EN ISO 14644-14:2016 発売履歴

• 2016 EN ISO 14644-14:2016 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 粉塵粒子濃度に基づく使用に対する機器の適合性の評価 (ISO 14644-14:2016)