ASTM F3166-16 シリコン貫通ビア（TSV）メタライゼーション用高純度チタンスパッタリングターゲットの標準仕様規格と仕様

範囲: 1.1 この仕様は、事前パッケージングにおけるシリコン貫通ビア (TSV) メタライゼーション用の薄膜材料として使用される高純度チタンスパッタリングターゲットの一般的な基準要件を詳述します。 1.2 スパッタリングターゲットの純度、粒度、内部品質、接合、寸法、および外観の仕様は、認定試験方法の参考資料とともにこの仕様書に含まれています。信頼性、認証、トレーサビリティ、および梱包要件も含まれます。 1.2.1&# 純度要件:&# 1.2.1.1&# 金属元素不純物および1.2.1.2&# 非金属元素不純物。 1.2.2&# 粒度要件&#—粒度。 1.2.3&# 内部品質要件&#—内部欠陥。 1.2.4&# 結合要件:&# 1.2.4.1 バッキングプレート、および1.2.4.2 接着率。 1.2.5&# 構成要件:&# 1.2.5.1&# 寸法、1.2.5.2&# 公差、および1.2.5.3&# 表面粗さ。 1.2.6&# 外観要件&#—表面の清浄さ。 1.3&# SI 単位で記載された値は標準とみなされます。この規格には他の測定単位は含まれません。 1.4&# この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F3166-16 規範的参照