ASTM F1710-97(2002)
高分解能発光質量分析法を使用した電子グレードのチタン中の微量金属不純物の標準試験方法

規格番号

ASTM F1710-97(2002)

制定年

1997

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1710-08

最新版

ASTM F1710-08(2016)

範囲

この試験方法は、薄膜メタライゼーション プロセスで使用される材料 (スパッタリング ターゲット、蒸発源など) の純度を評価するために半導体産業に適用することを目的としています。 この試験方法は、関係者間で合意されたとおり、担当技術委員会が想定していない追加の用途にも役立つ可能性があります。 この試験方法は、純チタン中の微量不純物を測定するためのプロトコルとパラメータを統一するために、さまざまな研究所の GDMS アナリストが使用することを目的としています。 目的は、分析データの研究室間の合意を改善することです。 このテスト方法は、GDMS 分析のユーザーが決定方法と、報告された GDMS データの重要性と信頼性を理解するための補助として使用することも目的としています。 ほとんどの金属種の場合、日常分析の検出限界は 0.01 重量 ppm 程度です。 特別な予防措置を講じれば、検出限界をサブ ppb レベルにすることが可能です。 この試験方法は、電子グレードのチタン材料の製造者およびユーザーの基準となる方法として使用できます。 1.1 この試験方法は、高純度チタン中の微量金属不純物の濃度の測定を対象としています。 1.2 この試験方法は、磁場型グロー放電質量分析計 (GDMS) による分析に関連します。 1.3 チタン マトリックスは、金属不純物に関して 99.9 重量パーセント (3N グレード) またはそれ以上の純度でなければなりません。 アルミニウムや鉄などの主要な合金成分の濃度が 1000 重量 ppm を超えてはなりません。 1.4 このテスト方法には、GDMS 分析を完了するために必要なすべての情報が含まれているわけではありません。 必要な感度を達成するには、経験豊富なオペレーターが巧みに使用する高度なコンピューター制御の実験装置が必要です。 この試験方法は、高純度チタン分析の信頼性に影響を与えると担当技術委員会によって知られている特定の要素 (たとえば、試料の準備、相対感度係数の設定、感度限界の決定など) をカバーしています。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1710-97(2002) 発売履歴

• 2008 ASTM F1710-08(2016) 高質量分解能グロー放電質量分析法を使用した、電子グレードのチタン中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法
• 2008 ASTM F1710-08 高品質分解能グロー放電質量分析法を使用した、電子グレードのチタン中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法
• 1997 ASTM F1710-97(2002) 高分解能発光質量分析法を使用した電子グレードのチタン中の微量金属不純物の標準試験方法
• 1997 ASTM F1710-97 高分解能発光質量分析法を使用した電子グレードのチタン中の微量金属不純物の標準試験方法