ASTM F1512-94(2011)
スパッタターゲットバッキングコンポーネントの超音波 C-Scan 結合評価の標準手法

規格番号

ASTM F1512-94(2011)

制定年

1994

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1512-94(2011)

範囲

この実践は、スパッタリング ターゲットの結合を評価するのに適切な具体的な機器の選択とテストの配置を示すことで、実践 E1001 を補足します。 スパッタリングターゲットとその支持バッキングプレートの間の接合は、スパッタ成膜システムにおける重要な信頼性要素です。 スパッタリング中にターゲットを適切に冷却するには、ボンドの熱伝導率が高くなければなりません。 ターゲットとバッキング プレートの接合部には、ターゲットとバッキング プレート間の熱膨張差によって生じるせん断応力に耐える十分な強度も必要です。 接合材料内のボイドなど、接合に欠陥があると、接合の性能が低下します。 接着が不十分だと使用中に失敗し、バッキングプレートからターゲットが壊滅的に剥離する可能性があります。 健全な接合を確保することは、スパッタリング装置のユーザーにとって重要な関心事です。 超音波検査はターゲットの結合を評価するための効率的な方法として受け入れられていますが、技術の違いにより、研究室間で結果を相互比較することができません。 この慣例は、接着の完全性に関する仕様が普遍的に適用されるように、使用時の均一性を促進することを目的としています。 超音波試験データの C スパン表示は、結合特性を視覚的に示す直接的な方法です。 ただし、この実践のモデルとなっている実践 E1001 では、C スキャン表示については扱っていません。 この演習では、C スキャン表示モードに固有の手順を示します。 他の点では、この実践は実践 E1001.1.1 のセクションごとの解説です。 この実践は、スパッタリング ターゲットをその支持バッキング プレートに結合する結合の健全性を超音波マッピングする方法について説明します。 検査の結果は、ターゲットとバッキング プレートのアセンブリの使用適性を予測する際に使用できます。 合格/拒否の基準は指定されていません。 これらは、アプリケーションの要件に応じて、ターゲットのサプライヤーとユーザーの間の合意の対象となります。 1.2 この規格は、Practice E1001 で使用することを目的としています。 1.3 この方法により、直径 0.125 インチ (3 mm) 以上の未結合領域が明らかになります。 この技術により、たとえば、はんだ接合部のボイド領域を明確に定量的に測定できます。 1.3.1 この技術は、不完全な接着によって接着の完全性がわずかに低下している領域、たとえば、酸化物含有物によって完全な接着強度の発現が阻害されている領域も示す可能性があります。 劣化した結合領域の兆候の評価は、純粋に主観的なものから半定量的なものまで、厳密さが異なる場合があります。 ターゲットのサプライヤーとユーザーは、部分的に接着された領域を表示および評価するために使用される手段に同意する必要があります。 1.4 この実践は、超音波励起の入口/出口表面として使用できる結合に平行な少なくとも 1 つの平面を設計で提供する、平面結合を有するアセンブリに適用できます。 1.5 液浸パルスエコー法のみが対象となります。 1.6 この方法による評価は非破壊的であることを目的としています。 脱塩水に浸漬すると劣化するターゲットアセンブリ、たとえば多孔質ターゲット材料の場合、テストは破壊的テストとみなされる必要があります。 1.7 この実践は、ターゲットとバッキング プレートを接合するためにフィラー材料を使用する接合方法に適用できます。 これらには、はんだ、エポキシ、ろう付けによる接合が含まれます。 1.8 インチポンド単位で記載された値は標準とみなされます。 括弧内に示されている値は、証明される SI 単位への数学的変換です。

ASTM F1512-94(2011) 規範的参照

• ASTM E1001 縦波による浸漬パルスエコー超音波法を使用した不連続性の検出と評価*， 1999-04-09 更新するには
• ASTM E127 超音波標準アルミニウム合金ブロックの製造および検査の標準作業手順*， 1998-04-09 更新するには
• ASTM E1316 非破壊検査の標準用語*， 2024-02-01 更新するには
• ASTM E428 超音波検査用アルミ製標準ブロック以外の金属製標準ブロックの製造及び管理の基準*， 2024-04-09 更新するには

ASTM F1512-94(2011) 発売履歴

• 1994 ASTM F1512-94(2011) スパッタターゲットバッキングコンポーネントの超音波 C-Scan 結合評価の標準手法
• 1999 ASTM F1512-94(2003) スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法
• 1999 ASTM F1512-94(1999) スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法