ASTM F1711-96(2016)
点プローブ法を使用してフラット パネル ディスプレイの製造に使用される薄膜導体のシート抵抗を測定するための標準的な手法

規格番号

ASTM F1711-96(2016)

制定年

1996

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1711-96(2016)

範囲

5.1 試験法 F390 を大型フラット パネル基板に適用すると、その規格の開発では予想されていなかった多くの重大な困難が生じます。 以下の問題が発生します。 5.1.1 四探針法は、測定中の薄膜を破壊する可能性があります。 したがって、サンプルはフィルムが消耗するプレートの端または角の近くで採取する必要があります。 真のシート抵抗を導き出すには、特別な幾何学的な補正係数が必要になります。 5.1.2 テスト方法 F390 は従来の同一直線上にあるプローブ配置に限定されていますが、特定の状況では千鳥配置の同一直線上および正方アレイが役立ちます。 非従来型のプローブ配置を考慮するには、補正係数が必要です。 5.1.3 試験方法 F390 は、プローブ マウントとサンプルがしっかりと配置される精密な試験配置を想定しています。 大型のガラスまたはプラスチック基板をテストするために利用できる対応する装置はありません。 実際、フラット パネル ディスプレイの製造では、プローブがオペレータによって手持ちで使用されるのが一般的です。 5.1.4 5.1.3 で挙げた条件を考慮すると、装置の乱暴な取り扱いによって均一なプローブ間隔が損なわれないようにすることは困難です。 説明したフェーズド正方アレイは、プローブの配置誤差を平均化します。 5.1.5&# この実践は、次のレベルまで正確であると推定されます。 ただし、そうでない場合は、プローブのぐらつきによって許容可能な精度が低下する可能性があります (8.6.4 を参照)。 5.1.5.1 試験法 F390 の第 7 項および本実施の第 8 項の手順に従って、使用前にプローブおよび測定装置が検査され、適格性が確認される審判法として: 測定値からの標準偏差 sシート抵抗 RS は &#≤ 0.01RS。 5.1.5.2  日常的な方法として、試験方法 F390 のパラグラフ 7 および本実施のパラグラフ 8 の手順によるプローブおよび測定装置の定期的な適格性評価を行います。 測定されたシート抵抗 RS からの標準偏差 s、は &#≤ 0.02RS。 1.1 この実践では、フラット パネル情報の作成に使用される、大きな絶縁基板上に堆積されたスパッタリングされた薄い導電性フィルムのシート電気抵抗を測定する方法について説明します。

ASTM F1711-96(2016) 規範的参照

• ASTM F390 共線四探針法による金属皮膜の皮膜耐久性試験方法*， 1998-04-09 更新するには

ASTM F1711-96(2016) 発売履歴

• 1996 ASTM F1711-96(2016) 点プローブ法を使用してフラット パネル ディスプレイの製造に使用される薄膜導体のシート抵抗を測定するための標準的な手法
• 1996 ASTM F1711-96(2008) 点プロービング法を使用した、業務用フラット パネル ディスプレイで使用される薄膜導体のシート抵抗を決定するための標準的な手法
• 1996 ASTM F1711-96(2002) 点プロービング法を使用した、業務用フラット パネル ディスプレイで使用される薄膜導体のシート抵抗を決定するための標準的な手法
• 1996 ASTM F1711-96 点プロービング法を使用した、業務用フラット パネル ディスプレイで使用される薄膜導体のシート抵抗を決定するための標準的な手法