ASTM F390-98(2003)
共線四探針法による金属皮膜の皮膜耐久性試験方法

規格番号

ASTM F390-98(2003)

制定年

1998

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F390-11

最新版

ASTM F390-11

範囲

1.1 この試験方法は、同一線上にある 4 つのプローブ アレイを使用した金属薄膜のシート抵抗の測定を対象としています。 これは、材料の堆積または薄化プロセスによって形成され、シート抵抗が 10 から 10 Ω/□の範囲で絶縁基板によって支持された、厚さ 0.01 から 100 μm の長方形の金属フィルムでの使用を目的としています。 [オープンボックス] (3.1.3 を参照)。 1.2 この試験方法は、日常的な合格測定だけでなく、審判測定の目的にも適しています。 1.3 Si 単位で記載されている値は標準値とみなされます。 括弧内の値は情報提供のみを目的としています。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F390-98(2003) 発売履歴

• 2011 ASTM F390-11 共線四探針法による金属薄膜のシート抵抗を測定するための標準試験方法
• 1998 ASTM F390-98(2003) 共線四探針法による金属皮膜の皮膜耐久性試験方法
• 1998 ASTM F390-98 同一直線上にある 4 つのプローブ アレイを使用した金属薄膜のシート抵抗の標準試験方法