ASTM F1711-96
点プロービング法を使用した、業務用フラット パネル ディスプレイで使用される薄膜導体のシート抵抗を決定するための標準的な手法

規格番号

ASTM F1711-96

制定年

1996

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1711-96(2002)

最新版

ASTM F1711-96(2016)

範囲

1.1 この実践では、フラット パネル情報ディスプレイの製造に使用される、大きな絶縁基板上に堆積されたスパッタリングされた薄い導電性フィルムのシート電気抵抗を測定する方法について説明します。 導電性薄膜の厚さは、シート抵抗の測定に使用される接触プローブの間隔よりもはるかに薄いと想定されます。 1.2 この規格は、試験方法 F 390 で使用することを目的としています。 1.3 この方法では、平方当たり 0.5 ～ 5000 オームの範囲のシート抵抗を測定できます。 シート抵抗は、プローブされる領域内で均一であると想定されます。 1.4 この実践は平坦な表面にのみ適用されます。 1.5 この実施では、1.5 mm ～ 5.0 mm (0.059 ～ 0.197 インチ) のプローブ ピン間隔がカバーされます。 1.6 この実践における方法は、測定が行われる直近の領域の薄膜を破壊する可能性があります。 したがって、テストされる領域は基板の機能部分の特徴である必要がありますが、重要な活性領域からは離れている必要があります。 この方法は、対象の基板と同時に処理されるダミーテスト基板の特性評価に適しています。 1.7 SI 単位で記載された値は標準とみなします。 括弧内の値は情報提供のみを目的としています。 1.8 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1711-96 発売履歴

• 1996 ASTM F1711-96(2016) 点プローブ法を使用してフラット パネル ディスプレイの製造に使用される薄膜導体のシート抵抗を測定するための標準的な手法
• 1996 ASTM F1711-96(2008) 点プロービング法を使用した、業務用フラット パネル ディスプレイで使用される薄膜導体のシート抵抗を決定するための標準的な手法
• 1996 ASTM F1711-96(2002) 点プロービング法を使用した、業務用フラット パネル ディスプレイで使用される薄膜導体のシート抵抗を決定するための標準的な手法
• 1996 ASTM F1711-96 点プロービング法を使用した、業務用フラット パネル ディスプレイで使用される薄膜導体のシート抵抗を決定するための標準的な手法