VDI 2083 Blatt 7-2015 クリーンルーム技術超高純度メディアの品質、供給、流通規格と仕様

範囲: この規格は、汚染管理プロセス用の超高純度媒体 (蒸気、ガス、化学物質) の仕様とそのような媒体の供給システムを扱い、高純度供給の設計、構築、操作および監視に関する知識の概要を提供します。これは、VDI 2083 Part 7 および Part 10 に代わるものであり、プランナー、システムサプライヤー、およびオペレーターの作業をサポートします。

VDI 2083 Blatt 7-2015 規範的参照

DIN 12925-1:1998
DIN 4768:1990
DIN 477-1:2012 シリンダーテスト圧力が 300 bar 未満のガスシリンダーバルブパート 1: バルブの入口と出口の接続
DIN 58356-12:2000 フィルターエレメントメンブレンフィルターエレメントパート 12: 水用の疎水性メンブレンフィルターエレメントの包括的な試験。
DIN 58356-2:2000 メンブレンフィルターエレメントパート 2: 圧力保持器のテスト
DIN 58950-7:2011 消毒、医薬品蒸気滅菌器、パート 7: 使用および地域の環境要件、ドイツ語と英語のテキスト
DIN EN 14470-1:2004 耐火保管キャビネットパート 1: 可燃性液体用の安全保管キャビネット
DIN EN 14470-2:2006 耐火保管キャビネットパート 2: 加圧ガスシリンダー用の安全キャビネット
DIN EN 285:2009 滅菌、蒸気滅菌器、大型滅菌器 (修正 A2-2009 を含む)、英語版 DIN EN 285-2009-08
DIN EN ISO 14698-1:2004 クリーンルームおよび関連する管理環境生物学的汚染管理パート 1: 一般原則と方法
DIN EN ISO 9000:2005 品質管理システムの基礎と用語
ISO 1217:2009 容積式コンプレッサー受け入れテスト
ISO 8573 圧縮空気パート 9: 液体水分含有量の測定のための試験方法
ISO 8573-1:2010 圧縮空気パート 1: 汚染物質と純度レベル

VDI 2083 Blatt 7-2015 クリーンルーム技術超高純度メディアの品質、供給、流通は VDI 2083 Blatt 10-1998 クリーンルーム技術高純度/超高純度 (HP-/UHP-) メディア供給システムから変更されます。