VDI 2083 Blatt 10-1998
クリーンルーム技術 高純度/超高純度 (HP-/UHP-) メディア供給システム
- 規格番号
- VDI 2083 Blatt 10-1998
- 制定年
- 1998
- 出版団体
- Association of German Mechanical Engineers
- 状態
- に置き換えられる
- VDI 2083 Blatt 7-2015
- 最新版
- VDI 2083 Blatt 7-2015
- 交換する
- VDI 2083 Blatt 10-1995
- 範囲
- 高純度/超高純度 (HP-/UHP-) 媒体 (化学薬品およびガス) は、多くの生産目的でますます使用されています。 目的は、供給地点 (POS) と入口地点 (POE) の間の清浄度レベルを維持すること、またはそれぞれ、許容される特定の定義された領域でのみ純度の低下を受け入れることです。 このガイドラインの目的は、HP/UHP メディア供給システムの設計、構築、運用、監視に関する知識を要約することです。 清浄度は、粒子、陽イオン、陰イオン、TOC、およびその他の特定のパラメーター (外来ガス、湿度など) などの残留汚染物質を指します。 清浄度の要件条件については、使用目的に応じて各ユーザーが決定するため、情報は提供されていません。
VDI 2083 Blatt 10-1998 規範的参照
- DIN 2403:1984 輸送流体によって区別されるパイプライン標識
- DIN 4768:1990
- DIN EN 10204:1995 金属製品試験証明書の種類
- DIN EN ISO 9001:1994 品質マネジメントシステム - 要件
- DIN EN ISO 9002:1994 品質システムの製造、設置、サービスの品質保証モデル
- DIN EN ISO 9003:1994 品質システムの最終検査およびテストにおける品質保証モデル
- DIN EN ISO 9004-1:1994 品質管理と品質システムの要素 パート 1: ガイダンス
VDI 2083 Blatt 10-1998 発売履歴
- 2015 VDI 2083 Blatt 7-2015 クリーンルーム技術 超高純度メディアの品質、供給、流通
- 1998 VDI 2083 Blatt 10-1998 クリーンルーム技術 高純度/超高純度 (HP-/UHP-) メディア供給システム
- 1995 VDI 2083 Blatt 10-1995 Reinraumtechnik - Reinstmedien-Versorgungssysteme
VDI 2083 Blatt 10-1998 クリーンルーム技術 高純度/超高純度 (HP-/UHP-) メディア供給システム は VDI 2083 Blatt 7-2015 クリーンルーム技術 超高純度メディアの品質、供給、流通 に変更されます。
