DIN 28429:2014
真空技術 イオンゲッターポンプの合格仕様

規格番号
DIN 28429:2014
制定年
2014
出版団体
German Institute for Standardization
状態
に置き換えられる
DIN 28429:2014-05
最新版
DIN 28429:2014-05
交換する
DIN 28429:2003 DIN 28429:2013

DIN 28429:2014 規範的参照

DIN 28429:2014 発売履歴

  • 2014 DIN 28429:2014-05 真空技術イオンゲッターポンプの受け入れ仕様
  • 2014 DIN 28429:2014 真空技術 イオンゲッターポンプの合格仕様
  • 2003 DIN 28429:2003 真空技術 スパッタイオンポンプの受け入れ仕様
  • 1970 DIN 28429:1985 真空技術 - イオンゲッターポンプの許容仕様
真空技術 イオンゲッターポンプの合格仕様



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