DIN 28429:2014-05
真空技術イオンゲッターポンプの受け入れ仕様
- 規格番号
- DIN 28429:2014-05
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN 28429:2014-05
DIN 28429:2014-05 発売履歴
- 2014 DIN 28429:2014-05 真空技術イオンゲッターポンプの受け入れ仕様
- 2014 DIN 28429:2014 真空技術 イオンゲッターポンプの合格仕様
- 2003 DIN 28429:2003 真空技術 スパッタイオンポンプの受け入れ仕様
- 1970 DIN 28429:1985 真空技術 - イオンゲッターポンプの許容仕様
