DIN 28429:2003
真空技術 スパッタイオンポンプの受け入れ仕様

規格番号

DIN 28429:2003

制定年

2003

出版団体

German Institute for Standardization

状態

撤回

に置き換えられる

DIN 28429:2014

DIN 28429 E:2013-04

最新版

DIN 28429:2014-05

範囲

この規格の文書化の目的は、イオンゲッターポンプの機能の評価が統一された手順と条件の下で確実に行われるようにすることです。 さまざまなメーカーや研究所が実施した測定値と、カタログに記載されている情報が原則として同等であることを達成する必要があります。 #,,#

DIN 28429:2003 発売履歴

• 2014 DIN 28429:2014-05 真空技術イオンゲッターポンプの受け入れ仕様
• 2014 DIN 28429:2014 真空技術 イオンゲッターポンプの合格仕様
• 2003 DIN 28429:2003 真空技術 スパッタイオンポンプの受け入れ仕様
• 1970 DIN 28429:1985 真空技術 - イオンゲッターポンプの許容仕様