GB/T 30453-2013
シリコン材料の自然欠陥マップ (英語版)

規格番号
GB/T 30453-2013
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2013
出版団体
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
最新版
GB/T 30453-2013
範囲
この規格は、シリコン多結晶、シリコン単結晶、シリコンウェーハ、シリコンエピタキシャルウェーハなどのシリコン材料のさまざまな自然欠陥と密接に関連する誘起欠陥の用語と形態的特徴マップを提供します。 原因と除去方法を分析します。 この規格は、シリコン多結晶シリコン、シリコン単結晶、シリコンウェーハ、シリコンエピタキシャルウェーハの製造研究における各種欠陥の検査に適用されます。 シリコンデバイスや集積回路の製造研究でもこの規格を参照できます。

GB/T 30453-2013 規範的参照

  • GB/T 14264 半導体材料用語
  • GB/T 1554 シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法
  • GB/T 4058 研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法

GB/T 30453-2013 発売履歴



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