GB/T 1554-2009
シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 1554-2009

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2009

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 1554-2009

交換する

GB/T 1554-1995

範囲

この規格は、優先エッチング技術によってシリコン結晶の完全性をテストする方法を規定しています。 この規格は、結晶方位 または 、抵抗率 10Ω・m～10Ω・m、転位密度 0cm～10cm のシリコン単結晶インゴットまたはウェーハの一次欠陥を検査するものに適用されます。 この方法はシリコン枚葉ウェーハにも適用可能である。

GB/T 1554-2009 規範的参照

• GB/T 14262-1993 バルク浮遊選鉱鉛精鉱のサンプリングおよびサンプル調製方法
• YS/T 209-1994 シリコン材料の自然欠陥マップ

GB/T 1554-2009 発売履歴

• 2009 GB/T 1554-2009 シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法
• 1995 GB/T 1554-1995 シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法