GB/T 4058-2009
研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法 (英語版)

規格番号

GB/T 4058-2009

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2009

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 4058-2009

交換する

GB/T 4058-1995

範囲

この規格は、シリコン研磨酸化物刺繍欠陥の検査方法を規定しています。 この規格は、シミュレートされたデバイス酸化プロセスにおけるシリコン研磨ウェーハの表面領域の刺繍または強化された結晶欠陥の検出に適用されます。 この方法はシリコン単結晶酸化物刺繍欠陥の検査にも参考になります。

GB/T 4058-2009 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 1554 シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法
• YS/T 209 シリコン材料の自然欠陥マップ

GB/T 4058-2009 発売履歴

• 2009 GB/T 4058-2009 研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法
• 1995 GB/T 4058-1995 研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法