ISO 14644 シリーズのこの部分では、存在する化合物または元素 (分子、イオン、原子、粒子を含む) に関して、クリーン ルーム内の表面清浄度の分類システムを指定します。
ISO 14644 シリーズのこの部分は、以下のようなクリーン ルームおよび関連するクリーン ルーム領域内のすべての固体表面に適用されます。
B. 壁、天井、床、作業場、工具、設備および装置。
注 1 ISO 14644 のこの部分の適用では、粒子の化学的特性のみが考慮されます。
粒子の物理的特性は考慮されておらず、ISO 14644 シリーズのこの部分では汚染と表面の間の相互作用については扱っていません。
注 2 ISO 14644 シリーズのこの部分では、汚染生成プロセスと時間依存の影響 (堆積、沈降、老化など)、または次のようなプロセス依存の活動はカバーしていません。
B. 輸送と取り扱い。
また、適合性を確保するための統計的品質管理手順に関するガイドラインも含まれていません。