EN ISO 14644-10:2013
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類

規格番号
EN ISO 14644-10:2013
制定年
2013
出版団体
European Committee for Standardization (CEN)
状態
 2022-08
に置き換えられる
EN ISO 14644-10:2022
最新版
EN ISO 14644-10:2022
交換する
FprEN ISO 14644-10:2012
範囲
ISO 14644 シリーズのこの部分では、存在する化合物または元素 (分子、イオン、原子、粒子を含む) に関して、クリーン ルーム内の表面清浄度の分類システムを指定します。 ISO 14644 シリーズのこの部分は、以下のようなクリーン ルームおよび関連するクリーン ルーム領域内のすべての固体表面に適用されます。 B. 壁、天井、床、作業場、工具、設備および装置。 注 1 ISO 14644 のこの部分の適用では、粒子の化学的特性のみが考慮されます。 粒子の物理的特性は考慮されておらず、ISO 14644 シリーズのこの部分では汚染と表面の間の相互作用については扱っていません。 注 2 ISO 14644 シリーズのこの部分では、汚染生成プロセスと時間依存の影響 (堆積、沈降、老化など)、または次のようなプロセス依存の活動はカバーしていません。 B. 輸送と取り扱い。 また、適合性を確保するための統計的品質管理手順に関するガイドラインも含まれていません。

EN ISO 14644-10:2013 規範的参照

  • ISO 14644-1:1999 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類
  • ISO 14644-6:2007 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙

EN ISO 14644-10:2013 発売履歴

  • 2022 EN ISO 14644-10:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類
  • 2013 EN ISO 14644-10:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類



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