ISO 14644-1:1999
クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類
- 規格番号
- ISO 14644-1:1999
- 制定年
- 1999
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 状態
- に置き換えられる
- ISO 14644-1:2015
- 最新版
- ISO 14644-1:2015
- 範囲
- ISO 14644 のこの部分では、クリーンルームおよび関連する管理環境における空気清浄度の分類を、浮遊粒子濃度のみの観点から取り上げています。 0.1 μm ～ 5 μm の範囲の閾値 (下限) サイズに基づく累積分布を持つ粒子集団のみが分類の目的で考慮されます。 ISO 14644 のこの部分では、指定された粒子サイズ範囲 (0.1 μm ～ 5 μm) の外にある粒子集団の分類は規定されていません。 超微粒子 (0.1 μm より小さい粒子) およびマクロ粒子 (5 μm より大きい粒子) の濃度を使用して、それぞれ U 記述子および M 記述子に関してこれらの集団を定量化できます。 ISO 14644 のこの部分は、浮遊粒子の物理的、化学的、放射線学的、または生存可能な性質を特徴付けるために使用することはできません。 注意 増分サイズ範囲内の粒子濃度の実際の分布は、通常は予測できず、通常は時間の経過とともに変化します。
ISO 14644-1:1999 発売履歴
- 2015 ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
- 1999 ISO 14644-1:1999 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類
