EN ISO 14644-8:2013
クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)

規格番号

EN ISO 14644-8:2013

制定年

2013

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

状態

入れ替わる 2022-10

に置き換えられる

EN ISO 14644-8:2022

最新版

EN ISO 14644-8:2022

交換する

FprEN ISO 14644-8:2012

範囲

ISO 14644 のこの部分では、特定の化学物質 (個人、グループ、カテゴリー) の空気中濃度の観点から、クリーンルームおよび関連する管理環境における空気化学的清浄度 (ACC) の分類を確立し、試験方法、分析、時間を含むプロトコルを提供します。 - 分類仕様内の重み付け係数。 ISO 14644 のこの部分は現在、クリーンルームの動作条件下で 100 ～ 10−12 g/m3 の空気化学汚染物質の濃度のみを考慮しています。 ISO 14644 のこの部分は、空気中の化学物質が存在する産業、プロセス、または生産での適用には関係ありません。

EN ISO 14644-8:2013 規範的参照

• ISO 14644-6:2007 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙

EN ISO 14644-8:2013 発売履歴

• 2022 EN ISO 14644-8:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)
• 2013 EN ISO 14644-8:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)
• 2006 EN ISO 14644-8:2006 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)