EN ISO 14644-8:2006
クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)

規格番号

EN ISO 14644-8:2006

制定年

2006

出版団体

CEN - European Committee for Standardization

状態

入れ替わる

に置き換えられる

EN ISO 14644-8:2013

最新版

EN ISO 14644-8:2022

範囲

ISO 14644 のこの部分では、特定の化学物質 (個々 @ グループまたはカテゴリー) の空気中濃度の観点から、クリーンルームおよび関連する管理環境@ における空気中の分子汚染 (AMC) の分類をカバーし、分析と時間による試験方法を含むプロトコルを提供します。 分類の仕様内の重み付け係数。 ISO 14644 のこの部分では現在、クリーンルーム操作条件下で 100 ～ 10-12 g/m3 の AMC 濃度のみが考慮されています。 ISO 14644 のこの部分は、浮遊分子物質の存在が製品またはプロセスに対するリスクとはみなされない産業、プロセスまたは生産での適用には関係ありません。 ISO 14644 のこの部分の目的は、空気中の分子状汚染物質の性質を説明することではありません。 ISO 14644 のこの部分では、表面分子汚染の分類は提供されていません。

EN ISO 14644-8:2006 発売履歴

• 2022 EN ISO 14644-8:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)
• 2013 EN ISO 14644-8:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)
• 2006 EN ISO 14644-8:2006 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 8: 分類された空気清浄化学物質濃度 (ACC)