ASTM D5127-13
電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 規格番号
- ASTM D5127-13
- 制定年
- 2013
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM D5127-13(2018)
- 最新版
- ASTM D5127-13(2018)
- 範囲
- 4.1&# このガイドは、エレクトロニクスおよびマイクロエレクトロニクス産業に必要な水質を推奨します。 汚染は電子デバイスの許容できない低歩留まりにつながる可能性があるため、製造中の製品の汚染を防ぐために高純度の水が必要です。 4.2 水の純度の範囲は製造工程に応じて定められています。 超純水の種類はデバイスの線幅に応じて決まります。 いずれの場合も、水質に関する推奨事項は配布時点で適用されます。 4.3 不純物の制限は、現在の汚染仕様と利用可能な分析方法 (適切な清潔な実験室またはオンライン機器のいずれかで実行) に関連しています。 現在の業界の慣例に従って、オンラインおよびオフラインの方法が使用されます。 表 1 に示されているレベルの不純物を測定するには、サンプルの濃度が必要になる場合があります。 表 1 電子および半導体産業の流通時点における水の要件 A パラメータ タイプ E-1 タイプ E-1.1 タイプ E-1.2B タイプE-1.3B タイプ E-2 タイプ E-3 タイプ E-4 線幅 (ミクロン) 1.0&#–0.5 0.35&#–0.25 0.18x2......
ASTM D5127-13 規範的参照
- ASTM D1129 水に関する標準用語
- ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)
- ASTM D1976 誘導結合アルゴンプラズマ原子発光分光法による水中の元素測定のための標準試験法
- ASTM D2791 水中のナトリウムをオンラインで測定するための標準試験方法
- ASTM D3919 黒鉛炉原子吸光光度法による水中の微量元素測定の標準的な方法
- ASTM D4191 原子吸光光度法による水中のナトリウム含有量の試験方法
- ASTM D4192 原子吸光光度法による水中のカリウム含有量の試験方法
- ASTM D4327 化学圧縮イオンクロマトグラフィーによる水中の陰イオンの試験方法
- ASTM D4453 高純度水サンプルを取り扱うための標準的な方法
- ASTM D4517 フレームレス原子吸光分析法を使用した、高純度水中の微量の総ケイ素を測定するための標準試験方法
- ASTM D5173 化学酸化、紫外線酸化、その両方の組み合わせ、気相非分散性赤外線 (NDIR) または電解伝導率および高温燃焼法による、水中の炭素化合物の瞬時モニタリングのための標準試験方法
- ASTM D5196 生物用途向けグレード水の規格ガイド
- ASTM D5391 高純度流水サンプルの導電率と抵抗率の標準試験方法
- ASTM D5462 水中の低濃度溶存酸素をオンラインで測定するための標準試験方法
- ASTM D5542 イオンクロマトグラフィーを使用した高純度水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法
- ASTM D5544 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- ASTM D5673 誘導結合プラズマ質量分析法を使用して水中の元素を測定するための標準的な試験方法
- ASTM D5996 オンラインイオンクロマトグラフィーによる高純度水中のアニオン性汚染物質の定量のための標準試験方法
- ASTM D5997 紫外線、過硫酸塩の酸化、膜の導電率検出による水中の総炭素および無機炭素のオンラインモニタリングのための標準的な試験方法
- ASTM F1094 直圧式蛇口弁および滅菌済みビニール袋法による水を扱う電子機器およびマイクロ電子機器の微生物モニタリングの標準試験方法
ASTM D5127-13 発売履歴
- 2018 ASTM D5127-13(2018) 電子・半導体業界向け超純水の規格ガイド
- 2013 ASTM D5127-13 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 2012 ASTM D5127-12 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 2007 ASTM D5127-07 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 1999 ASTM D5127-99 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
