ASTM D5127-07
電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 規格番号
- ASTM D5127-07
- 制定年
- 2007
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM D5127-12
- 最新版
- ASTM D5127-13(2018)
- 範囲
- 1.1 このガイドは、エレクトロニクスおよび半導体産業の製造に関連する水質に関する推奨事項を提供します。 0.09 ミクロンという細い線幅の水を含め、水の 6 つの分類が説明されています。 いずれの場合も、推奨されるのは流通時点 (POD) での水です。 1.2 水は、製造中の半導体コンポーネントの洗浄およびすすぎに使用されます。 水は、洗浄やエッチング操作、シリコン表面の酸化のための蒸気の生成、フォトマスクの準備、発光材料の堆積にも使用されます。 その他の用途としては、固体デバイス、薄膜デバイス、通信用レーザー、発光ダイオード、光検出器、プリント回路、メモリデバイス、真空管デバイス、または電解デバイスの開発および製造があります。 1.3 水を必要とするユーザーここに記載されているものと異なる品質については、仕様 D 1193 やガイド D 5196.1.4 などの他の水規格を参照する必要があります。 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM D5127-07 規範的参照
- ASTM D1129 水に関する標準用語
- ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)
- ASTM D1976 誘導結合アルゴンプラズマ原子発光分光法による水中の元素測定のための標準試験法
- ASTM D2791 水中のナトリウムをオンラインで測定するための標準試験方法
- ASTM D3919 黒鉛炉原子吸光光度法による水中の微量元素測定の標準的な方法
- ASTM D4191 原子吸光光度法による水中のナトリウム含有量の試験方法
- ASTM D4192 原子吸光光度法による水中のカリウム含有量の試験方法
- ASTM D4327 化学圧縮イオンクロマトグラフィーによる水中の陰イオンの試験方法
- ASTM D4453 高純度水サンプルを取り扱うための標準的な方法
- ASTM D4517 フレームレス原子吸光分析法を使用した、高純度水中の微量の総ケイ素を測定するための標準試験方法
- ASTM D5173 化学酸化、紫外線酸化、その両方の組み合わせ、気相非分散性赤外線 (NDIR) または電解伝導率および高温燃焼法による、水中の炭素化合物の瞬時モニタリングのための標準試験方法
- ASTM D5196 生物用途向けグレード水の規格ガイド
- ASTM D5391 高純度流水サンプルの導電率と抵抗率の標準試験方法
- ASTM D5462 水中の低濃度溶存酸素をオンラインで測定するための標準試験方法
- ASTM D5542 イオンクロマトグラフィーを使用した高純度水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法
- ASTM D5544 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- ASTM D5673 誘導結合プラズマ質量分析法を使用して水中の元素を測定するための標準的な試験方法
- ASTM D5996 オンラインイオンクロマトグラフィーによる高純度水中のアニオン性汚染物質の定量のための標準試験方法
- ASTM D5997 紫外線、過硫酸塩の酸化、膜の導電率検出による水中の総炭素および無機炭素のオンラインモニタリングのための標準的な試験方法
- ASTM F1094 直圧式蛇口弁および滅菌済みビニール袋法による水を扱う電子機器およびマイクロ電子機器の微生物モニタリングの標準試験方法
ASTM D5127-07 発売履歴
- 2018 ASTM D5127-13(2018) 電子・半導体業界向け超純水の規格ガイド
- 2013 ASTM D5127-13 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 2012 ASTM D5127-12 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 2007 ASTM D5127-07 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- 1999 ASTM D5127-99 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
