ASTM D5127-13(2018)
電子・半導体業界向け超純水の規格ガイド
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ASTM D5127-13(2018)
規格番号
ASTM D5127-13(2018)
制定年
2018
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
最新版
ASTM D5127-13(2018)
範囲
1.1 このガイドは、エレクトロニクスおよび半導体産業の製造に関連する水質に関する推奨事項を提供します。 線幅が 0.032 μm までの水を含む、水の 7 つの分類が説明されています。 いずれの場合も、推奨事項は配布時点 (POD) での水に関するものです。 1.2 製造中の半導体コンポーネントの洗浄およびすすぎには水が使用されます。 水は、洗浄やエッチング操作、シリコン表面の酸化のための蒸気の生成、フォトマスクの準備、発光材料の堆積にも使用されます。 他の用途は、固体デバイス、薄膜デバイス、通信用レーザー、発光ダイオード、光検出器、プリント回路、メモリデバイス、真空管デバイス、または電解デバイスの開発および製造にあります。 1.3 ここで説明されているものとは異なる水質を必要とするユーザーは、仕様 D1193 やガイド D5196 などの他の水基準を参照する必要があります。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全、健康、および環境慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。 1.5 この国際規格は、世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された国際規格、ガイドおよび推奨事項の開発のための原則に関する決定で確立された、国際的に認められた標準化原則に従って開発されました。
ASTM D5127-13(2018) 規範的参照
ASTM D1129
水に関する標準用語
ASTM D1193
試薬水 (連邦試験法 No. 7916)
ASTM D1976
誘導結合アルゴンプラズマ原子発光分光法による水中の元素測定のための標準試験法
ASTM D2791
水中のナトリウムをオンラインで測定するための標準試験方法
ASTM D3919
黒鉛炉原子吸光光度法による水中の微量元素測定の標準的な方法
ASTM D4191
原子吸光光度法による水中のナトリウム含有量の試験方法
ASTM D4192
原子吸光光度法による水中のカリウム含有量の試験方法
ASTM D4327
化学圧縮イオンクロマトグラフィーによる水中の陰イオンの試験方法
ASTM D4453
高純度水サンプルを取り扱うための標準的な方法
ASTM D4517
フレームレス原子吸光分析法を使用した、高純度水中の微量の総ケイ素を測定するための標準試験方法
ASTM D5173
化学酸化、紫外線酸化、その両方の組み合わせ、気相非分散性赤外線 (NDIR) または電解伝導率および高温燃焼法による、水中の炭素化合物の瞬時モニタリングのための標準試験方法
ASTM D5196
生物用途向けグレード水の規格ガイド
ASTM D5391
高純度流水サンプルの導電率と抵抗率の標準試験方法
ASTM D5462
水中の低濃度溶存酸素をオンラインで測定するための標準試験方法
ASTM D5542
イオンクロマトグラフィーを使用した高純度水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法
ASTM D5544
高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
ASTM D5673
誘導結合プラズマ質量分析法を使用して水中の元素を測定するための標準的な試験方法
ASTM D5996
オンラインイオンクロマトグラフィーによる高純度水中のアニオン性汚染物質の定量のための標準試験方法
ASTM D5997
紫外線、過硫酸塩の酸化、膜の導電率検出による水中の総炭素および無機炭素のオンラインモニタリングのための標準的な試験方法
ASTM F1094
直圧式蛇口弁および滅菌済みビニール袋法による水を扱う電子機器およびマイクロ電子機器の微生物モニタリングの標準試験方法
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2020-04-15 更新するには
ASTM D5127-13(2018) 発売履歴
2018
ASTM D5127-13(2018)
電子・半導体業界向け超純水の規格ガイド
2013
ASTM D5127-13
電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
2012
ASTM D5127-12
電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
2007
ASTM D5127-07
電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
1999
ASTM D5127-99
電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
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