DIN EN ISO 14644-9:2012
クリーン ルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類 (ISO 14644-9-2012) ドイツ語版 EN ISO 14644-9-2012
- 規格番号
- DIN EN ISO 14644-9:2012
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02
- 最新版
- DIN EN ISO 14644-9:2022-10
- 交換する
- DIN EN ISO 14644-9:2008
- 範囲
- ISO 14644 のこの部分では、クリーンルームおよび関連する制御環境アプリケーションにおける粒子濃度による固体表面の清浄度レベルの分類を確立しています。 試験および測定方法に関する推奨事項、および表面特性に関する情報は、付録 A ～ D に記載されています。 ISO 14644 のこの部分は、クリーンルームおよび関連する制御環境 (壁、天井、床、作業環境など) 内のすべての固体表面に適用されます。 、ツール、機器および製品。 粒子濃度 (SCP) による表面清浄度の分類は、0.05 pm ～ 500 μm の粒子に限定されます。
DIN EN ISO 14644-9:2012 規範的参照
- ISO 14644-6:2007 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙
DIN EN ISO 14644-9:2012 発売履歴
- 2022 DIN EN ISO 14644-9:2022-10 クリーンルームおよび関連管理環境パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の評価
- 1970 DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02 クリーンルームおよび関連管理環境 第 9 部：粒子濃度法による表面清浄度分類（案）
- 2012 DIN EN ISO 14644-9:2012 クリーン ルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類 (ISO 14644-9-2012) ドイツ語版 EN ISO 14644-9-2012
- 2008 DIN EN ISO 14644-9:2008 クリーン ルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度法による表面清浄度分類 (ISO/DIS 14644-9-2008)、ドイツ語版 prEN ISO 14644-9-2008
