DIN EN ISO 14644-9:2008
クリーン ルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度法による表面清浄度分類 (ISO/DIS 14644-9-2008)、ドイツ語版 prEN ISO 14644-9-2008
- 規格番号
- DIN EN ISO 14644-9:2008
- 制定年
- 2008
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN EN ISO 14644-9:2012
- 最新版
- DIN EN ISO 14644-9:2022-10
DIN EN ISO 14644-9:2008 発売履歴
- 2022 DIN EN ISO 14644-9:2022-10 クリーンルームおよび関連管理環境パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の評価
- 1970 DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02 クリーンルームおよび関連管理環境 第 9 部：粒子濃度法による表面清浄度分類（案）
- 2012 DIN EN ISO 14644-9:2012 クリーン ルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類 (ISO 14644-9-2012) ドイツ語版 EN ISO 14644-9-2012
- 2008 DIN EN ISO 14644-9:2008 クリーン ルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度法による表面清浄度分類 (ISO/DIS 14644-9-2008)、ドイツ語版 prEN ISO 14644-9-2008
