ISO 22309:2011
マイクロビーム分析 エネルギー分散分光法 (EDS) を使用した原子番号 11 (Na) 以上の元素の定量分析

規格番号

ISO 22309:2011

制定年

2011

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 22309:2011

範囲

この国際規格は、走査型電子顕微鏡 (SEM) または電子プローブ マイクロアナライザー (EPMA) に取り付けられたエネルギー分散型分光分析 (EDS) を使用して、試料の特定の点または領域での定量分析に関する指針を提供します。 量の表現、つまりパーセント（質量分率）による、多い/少ない、または多い/少ない量は定量的であるとみなされます。 試料中に存在するすべての元素を正確に特定することは定量分析に必要な部分であり、そのためこの国際規格では考慮されています。 この国際規格は、さまざまなアプローチに関するガイダンスを提供し、標準物質または「標準なし」手順のいずれかを利用して、1 % までの質量分率の日常的な定量分析に適用できます。 原子番号 Z > 10 の元素に対して安心して使用できます。 Z < 11 の軽元素の分析に関するガイダンスも提供されます。 注: ピークの重複がなく、関連する特性線が強く励起されている場合は、0.1 % という低い質量分率も測定可能であることに注意してください。 この国際規格は主に、平らに研磨された試料表面の定量分析に適用されます。 基本手順は、表面が研磨されていない試験片の分析にも適用できますが、追加の不確実性成分が導入されます。 軽元素の正確な定量的 EDS 分析に受け入れられた方法はありません。 ただし、いくつかの EDS メソッドが存在します。 これらは次のとおりです: 重い元素の場合と同じ方法でピーク面積を測定し、強度を比較します。 付属書 D で説明されている理由により、軽い元素の結果に関連する不確実性と不正確さは、より重い元素の場合よりも大きくなります。 b) 試料中で軽い元素がより重い元素（Z > 10）と化学量論的に結合していることがわかっている場合、その濃度は他の元素の濃度の適切な比率を合計することによって決定できます。 これは、ケイ酸塩鉱物標本中の酸素の分析によく使用されます。 c) 軽元素のパーセンテージが 100 % から分析された元素のパーセンテージの合計を差し引いた差による濃度の計算。 この方法は、ビーム電流の安定性が良好で、少なくとも 1 つの参照試料を個別に測定する場合にのみ可能であり、試料内の他の元素の非常に正確な分析が必要です。 a) 付録 D には、より重い元素の定量分析に存在する問題に加えて、軽元素分析の問題点がまとめられています。 EDS と波長分光分析 (WDS) の両方が利用できる場合、WDS を使用して、低エネルギーで EDS で発生するピークの重複の問題を克服できます。 ただし、その他の問題の多くは両方の手法に共通しています。

ISO 22309:2011 規範的参照

• ISO 14594 微小電子ビーム分析、電子検出微量分析、波長分散分光法の実験パラメータ決定のガイド。*， 2014-10-01 更新するには
• ISO 15632:2002 マイクロビーム分析 - 半導体検出器を備えたエネルギー分散型 X 線分光計の機器仕様
• ISO 16700 微小電子ビーム分析、走査型電子顕微鏡、校正された画像倍率のガイド。*， 2016-08-01 更新するには
• ISO/IEC 17025:2005 試験所および校正機関の能力に関する一般要件

ISO 22309:2011 発売履歴

• 2011 ISO 22309:2011 マイクロビーム分析 エネルギー分散分光法 (EDS) を使用した原子番号 11 (Na) 以上の元素の定量分析
• 2006 ISO 22309:2006 微小電子線分析、エネルギー分散分析装置（EDS）による定量分析