ISO 14594:2014
微小電子ビーム分析、電子検出微量分析、波長分散分光法の実験パラメータ決定のガイド。

規格番号

ISO 14594:2014

制定年

2014

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14594:2014

範囲

国際規格 この国際規格は、電子プローブ微量分析を実行する際に考慮する必要がある、一次ビーム、波長分光計、およびサンプルに関連する実験パラメーターを決定するための一般的なガイドラインを示します。 また、ビーム電流、電流密度、デッドタイム、波長分解能、バックグラウンド、分析領域、分析深さ、および分析ボリュームを決定するための手順も定義します。 この国際規格は、通常のビーム入射を使用したよく研磨されたサンプルの分析を目的としており、得られたパラメータは他の実験条件を示すものにすぎません。 この国際規格は、エネルギー分散型 X 線分光法に使用するように設計されていません。

ISO 14594:2014 規範的参照

• ISO/IEC 17025:2005 試験所および校正機関の能力に関する一般要件

ISO 14594:2014 発売履歴

• 2014 ISO 14594:2014 微小電子ビーム分析、電子検出微量分析、波長分散分光法の実験パラメータ決定のガイド。
• 2009 ISO 14594:2003/Cor 1:2009 マイクロビーム分析、電子プローブ微量分析、波長分散分光法による実験パラメータ決定ガイド、技術訂正事項 1
• 2003 ISO 14594:2003 微小電子ビーム分析、電子検出微量分析、波長分散分光法の実験パラメータ決定のガイド。